島津製作所製

物質に赤外光を照射し、透過または
反射した光を測定することで、
試料の構造解析や定量評価を行う装置

RENISHAW社製

Biolin Scientific 社製　QCM-D E4

・質量変化だけでなく粘弾性と膜厚の
同時定量算出
・世界で唯一のＤファクター
・7種類の高周波発振により、より正確な質量を取得
・定量フロー測定によりサンプル溶液の完全交換

FM-AFM　× 2台
AFM　　 × 3台

レーザ顕微鏡
デジタルマイクロスコープ
３D形状測定装置

キーエンス社製　VR-3050

・ワンショットで3D測定
・XYZフル電動化により最大200x100[mm]の範囲を簡単に3D化
・プロファイル測定や、粗さや平行度の測定だけでなく、平均段差・体積・表面積の測定やうねり・ひずみの測定も広範囲の面形状に対して測定可能

KLA社製　iNano+Geminiシステム
（Nanoinstruments社）
・ナノインデテーション（ISO14577）
・連続剛性測定モード（CSMモード）
・マッピングモード（硬さ，ヤング率）
・粘弾性測定
・2次元剛性測定（Gemini）

ブルカー社製　TI-950
（旧ハイジトロン社）
・ナノインデンテーション
・ナノスクラッチ（高荷重ヘッド）
・粘弾性測定（低荷重ヘッド）
・SPMモード（形状計測）

日立ハイテクノロジー社　
TM3030Plus+EDX（Oxford Instruments)

・低真空SEMのため試料前処理が容易
・加速電圧　5/15kV
・EDXによる組成分析が可能

島津製作所製　HMV-G

東京精密社製　サーフコム